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氣體指南

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一氟甲烷/HFC-41是什么化學(xué)氣體?

  • 發(fā)布時間:2022-09-04
  • 發(fā)布者: 本站
  • 來源: 原創(chuàng)
  • 閱讀量:
高純一氟甲烷HFC-41氣體是一種綠色、高效的蝕刻氣,它可選擇性地蝕刻硅化合物的薄膜,可用于半導(dǎo)體及電子產(chǎn)品的蝕刻制程中。

 產(chǎn)品信息概括

項目

說明

化學(xué)名稱

一氟甲烷,氟甲烷,甲基氟、氟利昂41、HFC-41、R41

CAS號

593-53-3

ODP

0

GWP100年

150

 

物化性質(zhì)

屬性

化學(xué)名稱

一氟甲烷,氟甲烷,甲基氟、氟利昂41、HFC-41、R41

結(jié)構(gòu)

CH3-F

分子式

CH3F

分子量

34.03

沸點(℃)

-78.4

凝固點(℃)

-142

臨界溫度(℃)

44.5

蒸汽相對密度(空氣=1)

1.2

液體相對密度(水=1)

0.61

蒸汽壓(20℃,bar)

33

空氣中的可燃范圍(%vol)

>5.6

包裝規(guī)格:4.64L/10.2L/44L 鋼瓶

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