碳酰氟(CF2O)
產(chǎn)品說(shuō)明


碳酰氟，又名氟光氣，是一種含氟、非易燃、有毒氣體，化學(xué)式為CF2O，主要用作半導(dǎo)體制造裝置的清洗氣和刻蝕氣，也可用作有機(jī)合成的中間體、氟化劑。


 


技術(shù)指標(biāo)


組成


單位


指標(biāo)


碳酰氟(CF2O)


wt%


≥99.0


三氟乙酰氟


wt%


≤0.5


其他


wt%


≤0.5


 


理化指標(biāo)


檢測(cè)項(xiàng)目


單位


指標(biāo)


化學(xué)名稱


/


三氟乙酰氟


CAS


/


353-50-4


分子式


/


CF2O


結(jié)構(gòu)式


/






分子量


g/mol


66.01


沸點(diǎn)(1atm)


℃


-84


臨界溫度


℃


22.8


液體密度


g/ml


1.14


 


包裝方式


本產(chǎn)品充裝在鋼瓶或運(yùn)輸槽罐中，鋼瓶包裝規(guī)格1000 kg/1000 L，鋼瓶充裝系數(shù)0.5 kg/L；鋼瓶或運(yùn)輸槽罐外附有標(biāo)簽、合格證，注明牌號(hào)、商標(biāo)、批號(hào)。


 


注意事項(xiàng)


1.產(chǎn)品儲(chǔ)存時(shí)要遠(yuǎn)離火源、熱源，防止超壓；儲(chǔ)存場(chǎng)所必須有良好的通風(fēng)裝置。
2.高溫天氣，要對(duì)露天存放的鋼瓶進(jìn)行防曬降溫措施，防止超壓。
3.本品按危險(xiǎn)品運(yùn)輸，運(yùn)輸過(guò)程中應(yīng)避免受熱或劇烈震動(dòng)。