1、四氟化硅在常溫下為無色、有毒、有刺激性臭味的氣體，溶于乙醇、醚、硝酸、氫氟酸，在潮濕的空氣中可產(chǎn)生濃煙霧，生成硅氧化物和氟化氫。四氟化硅可與堿性物質(zhì)產(chǎn)生劇烈反應(yīng)，與大部分含有水汽的材料反應(yīng)生成極易燃的氫氣。高純四氟化硅在電子氣體和半導(dǎo)體行業(yè)中發(fā)揮著舉足輕重的作用，因此對四氟化硅氣體的雜質(zhì)進(jìn)行脫除和凈化，對于加快四氟化硅氣體的推廣應(yīng)用具有重要的意義。

2、國內(nèi)外有關(guān)5N（99.999%）級高純四氟化硅電子特氣研究內(nèi)容主要分為四氟化硅制備工藝技術(shù)和四氟化硅粗料提純工藝技術(shù)兩個方面。四氟化硅氣體的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標(biāo)和成品率，從根本上制約著電路和器件的精確性和準(zhǔn)確性，是我國亟待攻克的電子與半導(dǎo)體行業(yè)的“卡脖子”技術(shù)產(chǎn)品。 

3、國內(nèi)外對四氟化硅氣體的制備與應(yīng)用有很多制備四氟化硅的方法，但每種方法都存在著有優(yōu)勢與不足，目前國內(nèi)市場上的高純四氟化硅產(chǎn)品，存在總金屬雜質(zhì)含量高的缺點(diǎn)，無法滿足半導(dǎo)體行業(yè)對電子特氣的需要，高品質(zhì)的四氟化硅產(chǎn)品主要依賴美國和日本進(jìn)口，針對市場需求，開發(fā)高層次、高品質(zhì)，以適應(yīng)國內(nèi)需求參與國際競爭。