三甲基硅烷C3H10Si
產品詳情：
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三甲基硅烷（C3H10Si）Trimethylsilane |
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化學式 |
C3H10Si |
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中文名稱 |
三甲基硅烷 |
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英文名稱 |
Trimethylsilane |
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CAS No. |
993-07-7 |
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規(guī)格 |
47L/20KG |
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充裝系數(shù) |
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應用 |
應用于半導體工業(yè)SiCN擴散阻擋層制備工藝，沉積低介電常數(shù)的銅擴散阻擋層或刻蝕停止層，采用等離子體輔助化學氣相沉積方法PECVD制得 |
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產品規(guī)格 |
≥99.999% |
